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行业资料-电子功用-一种毛细管放电EUV光源的真空室.zip
行业资料-电子功用-一种毛细管放电EUV光源的真空室
2021-09-11 09:02:41
371KB
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延时对毛细管放电类氖氩46.9 nm软X光激光的影响
研究了预、主脉冲延时这一敏感参量在低气压下对毛细管放电类氖氩46.9 nm软X光激光的影响。实验表明,采用长度20 cm(钼电极长4 cm),直径3 mm的陶瓷毛细管,当主脉冲电流峰值稳定在20~21 kA,氩气气压为38 Pa时,激光输出对应的预、主脉冲延时范围为2.5 μs
2021-02-26 15:06:29
963KB
激光技术
预-主脉
毛细管放
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