MEMS技术最早由Richard Pfeynman(1965年获得诺贝尔物理奖)，在1959年提出设想。1962年硅微型压力传感器问世。1979年Roylance和Angell开始压阻式微加速计的研制。1991年Cole开始电容式微加速度计的研制。 　 惯性传感器包括加速度计(或加速度传感计)和角速度传感器(陀螺)以及它们的单、双、三轴组合IMU(惯性测量单元)，AHRS(包括磁传感器的姿态参考系统)。

基于Mems的惯性陀螺组件，MEMS陀螺仪

有关惯性器件动态测试的MATLAB仿真程序

陆元九院士编写的惯性导航专业的书籍，内容涉及到惯性器件测试技术，惯性导航技术、惯性仪表等专业知识

基于单片机与微惯性器件的高度轨迹描绘设计，陈军，，本文开发一种民用标准的高度测量系统，以基于增强型51单片机MSC1210为核心处理单元，采用三个ADXL202加速度传感器和三个ADXRS300角速度传