提出了一种新颖的微机械谐振式微流量传感器。该传感器采用电磁激励方式。传感器主要由1个3μm厚H型谐振器、1个40μm厚的悬臂梁平板(2000μm×5000μm)以及连接平板和框架的2根40μm厚的支撑梁组成。谐振器采用低应力富硅氮化硅SiN制作,可以方便地使用湿法腐蚀释放谐振器,从而简化工艺流程,提高成品率。文中分析了理论模型、有限元仿真(FEA)、工艺制造和测试结果。测试结果显示,传感器在1 SLM(标准L/min)流量下,频率漂移为500 Hz,分辨率达到5/1000。但在输出(谐振器频率漂移)和输入(气体流量)间存在二次曲线关系。
2023-07-25 14:23:48
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直线电机由于其高速性能、高加速和高减速以及精确定位而被广泛用于承载装置和机床。一种称为永磁直线电机的直线电机，由于其结构和运行方式，其推力中存在谐波成分，如齿槽和波纹。这些部件对速度控制和定位精度有很大影响。线性电机与旋转电机的区别在于，线性电机有边缘，限制了它们的移动距离。这就是为什么当动子位于定子的中心时和当动子处于边缘时，线性电机具有不同的特性。为了创建更先进的控制设计，可以使用控制仿真来获得线性电机模型，该模型基于实际机器表现出更详细的行为。
使用JMAG，可以创建一个详细且符合真实机器的线性电机模型，并考虑永磁线性电机中包含的空间谐波和磁饱和特性。将这种线性电机模型，即“JMAG-RT模型”导入电路/控制模拟器，可以运行一个链接的模拟，该模拟考虑了线性电机的磁饱和特性、空间谐波以及驱动器的控制特性。
说明介绍了如何使用JMAG-RT来获得推力和线圈电感的空间谐波和电流相关性，并将其作为JMAG-RT模型导入电路/控制模拟器。从那里，它展示了如何进行分析，将永磁线性电机的速度控制到所需的值。使用磁场分析创建JMAG-RT模型的系统被称为JMAG-RT。
2023-07-12 09:35:59
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磁性材料是指具备强磁性的物质，按使用可分为软磁材料、硬磁材料和功能 磁性材料。软磁材料在磁场作用下非常容易磁化，同时取消磁场后又很容易 退磁化，具有较高的磁导率、较高的饱和磁感应强度、较小的矫顽力，磁滞 损耗小，应用于变压器、继电器、电感铁芯、继电器和扬声器磁导体、磁屏 蔽罩、电机定子转子等。而硬磁材料通常难磁化、难退磁、剩磁高、矫顽力 大，主要作为磁场源用于储藏和供给磁能，应用于各种电机、仪表、设备等。 从软磁材料的发展历程来看，经历了金属软磁材料——铁氧体软磁材料—— 非晶软磁材料——纳米晶软磁材料的过程，向综合性能更优化方向发展。 金属软磁：金属软磁是最早出现的第一代软磁材料，最早可追
2023-07-08 10:35:23
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本文分析了正激电路的基本结构，并用不同的方法对正激电路拓补结构进行分类和比较，讨论了软开关技术在正激电路中的应用和发展前景，最后，通过比较，得出正激电路拓补结构的研究方向。
2023-07-03 20:42:14
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