许多 III-V 器件需要暴露埋层以形成金属接触或形成台面结构与同一晶片上的相邻器件进行电隔离，因此蚀刻将始终是关键的制造步骤。湿蚀刻是最容易实施的，因为它们只需要简单的台式玻璃器皿（如果涉及 HF，则需要塑料器皿）。在为任何应用选择特定蚀刻工艺时要考虑的关键问题是速率、均匀性、选择性、关键尺寸控制、特征轮廓和表面损伤，这些都会降低电子特性，从而降低器件性能。

仿真模型，效果好

结构的无损检查对于确保社会基础设施的安全非常重要。 其中，超声波检查法是主要技术。 但是，在检查大型结构时，检查时间往往很长。 因此，已经构造了用于在所有方向上从超声波传感器发送和接收超声波的系统。 已经设计出使用这种概念的几种类型的超声波传感器，但是由于超声波能量在所有方向上分散，所以存在不能确保足够的检测性能的问题，特别是当待检查的材料的厚度变厚时。 因此，我们利用超声波在厚度方向上传播的共振现象开发了一种高灵敏度的全向超声波传感器。 全向超声系统还包括使用圆形磁体的电磁超声换能器（EMAT）。 通过开发的系统，可以检查传感器周围0.3mm到10mm的板厚和300mm直径的检查范围。 结果表明，开发的系统可以对大型结构进行高速检查。

光波导理论中的微环谐振器部分，该内容丰富完整，可作为相关科研人员的参考资料。

利用三维仿真软件HFSS首先设计了K波段7阶电感E面带通波导滤波器，以及波导微带转换器，其中波导滤波器的中心频率为19GHz，带宽为3GHz，带内损耗小于0．1dB，端口反射小于-20dB；而波导-微带的转换器在16～20．8GHz的带宽内端口反射小于-20dB，带内损耗小于0．1dB。然后将两者有效结合为一体，其工作带宽为17．5～20．5GHz，带内损耗为0．3dB，端口反射小于-15dB，带外抑制小于－30dB，可以满足实际系统应用的需求。

为研究滤波器参数与其传输性能之间的关系，设计了一款含交叉耦合结构的W波段矩形波导带通滤波器。交叉耦合结构使滤波器的矩形系数减小25.7%，有效增强了带外抑制。不同中心频率的3款滤波器模型的仿真数据证明了滤波器腔体结构参数与其中心频率之间的比例效应。使用电磁仿真软件HFSS对滤波器的尺寸参数进行了扫描分析，结果显示，中心频率主要受腔体尺寸控制，耦合结构参数主要影响滤波器的损耗性能，耦合膜片厚度主要调节带宽。基于紫外光刻工艺对90 GHz滤波器模型进行了加工与测试，测试结果与仿真结果基本吻合。

本人课程做的一个PPT，如有需要，自行 下载。 主要内容: 光波导的制备通常需要两个过程： ①光波导薄膜：制作技术主要包括原子掺杂技术，淀积技术，外延生长技术和电光技术。 ②光路几何图形的微细加工：技术主要包括化学腐蚀法刻蚀和离子束刻蚀。进行刻蚀的目的：一是规定光的传输方向，让光在通道上有效通过，二是在规定的通道上加工制作不同光波导器件以便对光信号进行调制、分束、开关和探测。

微波技术基础-传输线和波导 非常感谢本文的原始作者！

Ku波段同轴波导转换器的设计，黄磊，石一非，介绍一种Ku波段全频段的同轴波导转换器的设计与实现。采用高频仿真软件HFSS对转接器结构进行设计，分别对波导和同轴采用阻抗变换实

设计了了一种新型的微带天线阵。该天线阵采用矩形波导宽边纵向缝隙耦合微带 线结构给串馈微带贴片线阵馈电,从而构成二维平面阵。利用软件CST对波导缝隙 -微 带线耦合结构和微带串馈线阵进行了仿真设计,并制作了一个X波段16×16元天线阵, 测量结果证明了分析设计方法的正确性。